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微米白光干涉仪

系列类型:

加工功能:

机床精度:

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规格参数


型 号MTM-3020MA


金属台尺寸(mm)500*330
玻璃台尺寸(mm)350*250
X、Y运动行程(mm)300*200
手动Z向行程(mm)120
自动Z向行程(mm)2
外形尺寸(mm)825*660*910
仪器重量(kg)130
手动X、Y、Z向分辨力(um)0.5
自动Z向分辨力(um)0.1
示值误差(um)E1XY=(2.5+L/100)
物镜放大倍率误差包括畸变在内的放大率误差:0.08%
落射照明光源可调高亮度LED灯源
底光照明光源可调高亮度LED灯源

目视系统影像系统
物镜放大倍数5X、10X、20 X、50X5X、10X、20 X、50X、10X Mirau 物镜
目镜放大倍数10 x双镜筒1/2”CCD摄像机
视频总倍率50X-500X142.5X-1425X19.511显示器,分辨率1440*900)


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